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產(chǎn)品分類(lèi)
更新時(shí)間：2023-12-02 
瀏覽次數(shù)：693垂直晶圓傳輸機(jī)-全自動(dòng)AVT
產(chǎn)品
描述
桌上型自動(dòng)雙料盒垂直批量晶圓轉(zhuǎn)移工具供給，AVT是一種可靠性高新技術、維護(hù)需求低的工具應用創新。通過(guò)簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)先進(jìn)功能更優質，提供更好的用戶(hù)體驗(yàn)。安全傳感器確保料盒正確裝載部署安排，保證晶圓傳輸一致性搖籃。
下單時(shí)需要支持的料盒型號(hào)
晶圓接觸材料：抗靜電聚丙烯和縮醛，高純度材料推廣開來，具有良好的耐磨性推動、耐熱性和出色的耐化學(xué)腐蝕性。
AVT 的特點(diǎn)：
一次傳送 25 個(gè)晶圓資源配置。
30 秒循環(huán)時(shí)間信息。
升降梳由防靜電縮醛材料制成。
固定梳由黑色縮醛制成大力發展。
規(guī)格
晶圓尺寸76, 100, 150, 200mm
電源要求220VAC 3 安培 至 24VDC 電源單獨(dú)出售
吞吐量每小時(shí) 60 盒
重量40磅
附加信息
裝運(yùn)重量100磅
裝運(yùn)尺寸28 × 16 × 30 英寸
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