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更新時(shí)間：2024-03-07 
瀏覽次數(shù)：663激光掃描表面形狀檢查機(jī)
核心系統(tǒng)“CSYS"系列的激光掃描寬度為40毫米優化程度，可以測量大范圍內(nèi)的微小高度變化。其他公司無法重現(xiàn)實(shí)際的表面變化宣講活動，因?yàn)樗鼈儗⑿^(qū)域的數(shù)據(jù)圖像拼接在一起切實把製度。
核心系統(tǒng)是“激光表面形狀檢查機(jī)"，可檢查半導(dǎo)體晶圓（Si高效節能、SiC影響力範圍、GaN等）、MEMS新創新即將到來、硬盤邁出了重要的一步、FPD用功能膜、濺射薄膜等的“表面形狀"和“粗糙度"設施⌒枨?？梢愿哽`敏度、快速更優質、大范圍地檢查“起伏"相對開放、“顆粒"、“劃痕"脫穎而出，并顯示“數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)"和“3D圖像數(shù)據(jù)" ."
【特征】
① 非接觸式激光掃描顯示表面形狀（粗糙度深入交流研討、波紋度、劃痕廣泛應用、污垢關註度、顆粒）測量數(shù)據(jù)
② 檢測靈敏度高，可在較寬的測量范圍內(nèi)進(jìn)行快速測量哪些領域，并可進(jìn)行數(shù)字圖像顯示敢於挑戰。
③ 光學(xué)檢測原理和結(jié)構(gòu)簡單，可靠性高
④ 由于40毫米的掃描寬度是在2.8毫秒的短時(shí)間內(nèi)完成掃描的建立和完善，因此具有的抗振能力提供了遵循，不需要隔振臺(tái)或隔振裝置。
⑤ 所有在線過程的無損檢測大型，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化
[被測工件]
半導(dǎo)體晶圓服務效率、硬盤、金屬薄膜重要意義、薄膜統籌發展、FPD、MEMS等
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