EddyCus lab 2020 Sr–非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測試儀
這EddyCus lab 2020 Sr
是一種非接觸單點(diǎn)薄層電阻測量系統(tǒng)全會精神。該設(shè)備包含一組渦流傳感器系統穩定性,可將微弱電流感應(yīng)到導(dǎo)電膜和材料中拓展基地。樣品中的感應(yīng)電流產(chǎn)生電磁場,該電磁場與測量對象的薄層電阻相關(guān)實力增強。該技術(shù)與表面特征或形態(tài)無關(guān)體系流動性。此外,它不需要任何種類的充分樣品接觸或制備帶來全新智能,例如從2點(diǎn)或4點(diǎn)探針測試(2PP實現了超越,4PP)或霍爾效應(yīng)或范德堡測量中已知的。它既不需要設(shè)置測試結(jié)構(gòu)去完善,也不受表面粗糙度或非導(dǎo)電封裝或鈍化層的影響橋梁作用。此外,測量不會對被測薄膜產(chǎn)生物理影響脫穎而出。由于存在機(jī)械磨損拓展應用,渦流儀器的使用壽命較長。它與接觸質(zhì)量無關(guān)結構,速度快管理,可實現(xiàn)高重復(fù)性和高精度,有利于R&D和測試實驗室各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證雙重提升。EddyCus工具可以由具有各種數(shù)據(jù)記錄和導(dǎo)出功能的SURAGUS軟件驅(qū)動戰略布局,也可以由SURAGUS軟件開發(fā)套件驅(qū)動的客戶軟件驅(qū)動。
