EddyCus在線(xiàn)SR /工具集成式非接觸在線(xiàn)薄層電阻監(jiān)控解決方案
這種非接觸式薄層電阻監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可在制造過(guò)程中直接高速各領域、非接觸地測(cè)量薄層電阻知識和技能。典型的工藝包括在晶片重要意義、箔、紙更加廣闊、聚合物或其他襯底上的PVD規劃、CVD、電鍍或傳統(tǒng)沉積工藝可以使用。特別地進入當下，這些工藝包括濺射、蒸發(fā)效高化、外延或電鍍工藝新體系。此外，這還涉及噴涂創造、縫模涂布或電子印刷工藝不難發現。此外，薄膜退火和摻雜或印刷電子器件燒結(jié)等薄層電阻增強(qiáng)工藝受益于電氣完整性的在線(xiàn)監(jiān)測(cè)設備製造。氧化發展需要、蝕刻、拋光以及清潔和干燥過(guò)程的影響也是這種先進(jìn)測(cè)試技術(shù)的廣泛應(yīng)用范圍的一部分管理。薄層電阻值通常被傳送到MES系統(tǒng)用于質(zhì)量保證顯示，特別是用于過(guò)程控制。
更新時(shí)間：2024-04-02 
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