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更新時間：2024-04-13 
瀏覽次數(shù)：544F3-sX 系列
F3-sX 系列能測量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳
波長選配
F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度稍有不慎，即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體)共享應用。 F3-s980 是波長為980奈米的版本能運用，是為了針對成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計,F3-s1310是針對重?fù)诫s硅片的最佳化設(shè)計,F3-s1550則是為了最厚的薄膜設(shè)計異常狀況。
附件
附件包含自動化測繪平臺培養，一個影像鏡頭可看到量測點的位置以及可選配可見光波長的功能使厚度測量能力最薄至15奈米業務指導。
包含的內(nèi)容：
集成光譜儀/光源裝置
光斑尺寸10微米的單點測量平臺
FILMeasure 8反射率測量軟件
Si 參考材料
FILMeasure 獨立軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)
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