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更新時(shí)間：2024-09-04 
瀏覽次數(shù)：796深度剖析samco紫外線臭氧清洗機(jī)裝置
一善於監督、概述
該裝置是一種UV臭氧清洗機(jī)創造，可以對(duì)各種半導(dǎo)體工藝進(jìn)行干燥處理經過∮型?？梢赃M(jìn)行有機(jī)物去除和表面改性作用，例如光刻膠灰化以及硅和藍(lán)寶石晶圓清洗結構重塑。配備紫外線燈拓展、臭氧發(fā)生器和加熱臺(tái)滿意度，紫外線照射情況較常見、臭氧和熱量之間的相互作用可以實(shí)現(xiàn)高效的清潔和表面改性，而不會(huì)對(duì)基材造成電氣損壞主要抓手。
二體製、特征
1.由于同時(shí)使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺(tái)加熱器的熱量創新科技，因此可以實(shí)現(xiàn)高效清潔服務延伸。
2.離子或電子不會(huì)對(duì)元件造成損壞。
3.由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器具有重要意義，因此不需要臭氧處理設(shè)備進一步。
4.由于大氣壓處理，不需要真空系統(tǒng)強大的功能。
5.一鍵即可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)操作實際需求。
三、應(yīng)用實(shí)例
1.光刻膠灰化預期、圓盤
2.親水處理
3.硅敢於監督、化合物半導(dǎo)體、晶體結構、ITO薄膜重要的作用、透鏡等的清洗貢獻。
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