Quark準(zhǔn)分子燈技術(shù)原理

更新時(shí)間：2024-09-18

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簡(jiǎn)介 – 準(zhǔn)分子燈照射裝置需求的背景

電子微加工技術(shù)的創(chuàng)新不斷進(jìn)步損耗。與此同時(shí)攻堅克難，凈化和表面處理在半導(dǎo)體等先進(jìn)技術(shù)的制造過(guò)程中也變得至關(guān)重要培養。其關(guān)鍵技術(shù)是使用真空紫外光（172nm VUV）對(duì)基材表面進(jìn)行干洗或改性實踐者。人們不斷需要提高清潔性能和縮短處理時(shí)間攜手共進。準(zhǔn)分子VUV光已被認(rèn)為是滿足這一市場(chǎng)需求的極其有效的技術(shù)工藝技術，并正在引起人們的關(guān)注自行開發。

準(zhǔn)分子燈發(fā)光原理

準(zhǔn)分子燈由充滿稀有氣體或稀有氣體鹵化物放電氣體的雙石英管以及內(nèi)電極和外電極組成影響力範圍。

通過(guò)石英管在電極之間施加高頻和高電壓大局，放電氣體被激發(fā)，然后變成準(zhǔn)分子狀態(tài)邁出了重要的一步，并在返回到基態(tài)時(shí)產(chǎn)生真空紫外光（準(zhǔn)分子燈光或VUV）有序推進。

準(zhǔn)分子燈的光是準(zhǔn)單色的，波長(zhǎng)根據(jù)放電氣體的類(lèi)型（氙Xe2需求、氬Ar2等）而變化堅定不移。在通常用于光清潔和改性的波長(zhǎng)為172 nm的準(zhǔn)分子光的情況下，使用氙作為放電氣體更讓我明白了。

上述反應(yīng)步驟如下式所示迎難而上。文章1.jpg

準(zhǔn)分子燈的特點(diǎn)

準(zhǔn)分子燈是一種能發(fā)射真空紫外光的光源，其發(fā)光原理和結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)的放電燈（汞燈充分、氙燈等）不同進一步完善。

準(zhǔn)分子燈具有以下優(yōu)良特性。

特點(diǎn)1：準(zhǔn)單色光

產(chǎn)生準(zhǔn)單色光關註度，能量轉(zhuǎn)換效率高橫向協同。與其他放電燈不同哪些領域，它發(fā)射的可見(jiàn)光和紅外光相對(duì)較少，對(duì)于干洗和重整來(lái)說(shuō)是不必要的不斷創新，并且不會(huì)對(duì)工件造成熱損傷建立和完善。因此，現(xiàn)在可以在低溫工藝中進(jìn)行表面處理參與水平。

特點(diǎn)2：發(fā)射波長(zhǎng)為172 nm的準(zhǔn)分子光

準(zhǔn)分子燈發(fā)射波長(zhǎng)為172 nm的真空紫外光（VUV）大型，其光子能量比用于傳統(tǒng)光清洗的汞燈（波長(zhǎng)185 nm和254 nm）更高它發(fā)生了。

特點(diǎn)三：瞬間點(diǎn)亮和閃爍

上述準(zhǔn)分子燈發(fā)光原理可以實(shí)現(xiàn)瞬間點(diǎn)亮和閃爍明確相關要求，而不損壞準(zhǔn)分子燈重要意義。利用這一特性，在干洗時(shí)深化涉外，可以只照射輸送過(guò)程中的工件體系，同時(shí)，實(shí)際的燈壽命比連續(xù)點(diǎn)亮燈時(shí)要長(zhǎng)開展試點。

準(zhǔn)分子燈結(jié)構(gòu)

準(zhǔn)分子燈是雙壁石英玻璃管攜手共進，內(nèi)部有內(nèi)部電極，外部有外部電極推進一步。石英玻璃管內(nèi)充滿氙氣經過，這是一種放電氣體。這是一種通過(guò)從射頻電源施加電壓力度，在石英玻璃管之間高效地產(chǎn)生放電等離子體的機(jī)制明確了方向，并且產(chǎn)生的熱量極少。

使用準(zhǔn)分子燈進(jìn)行表面改性

短波長(zhǎng)紫外線輻射善謀新篇，例如準(zhǔn)分子燈的 EUV增產、DUV 和 VUV便利性，會(huì)改變各種材料的表面特性方法。例如，無(wú)機(jī)材料包括玻璃提供有力支撐、金屬和陶瓷切實把製度，而有機(jī)材料包括橡膠、塑料和其他表面自行開發。特別是進行部署，它涉及將疏水表面轉(zhuǎn)變?yōu)橛H水表面。

紫外線清洗

準(zhǔn)分子燈發(fā)出的短波長(zhǎng)紫外線具有非常高水平的光子能量自動化裝置，可以破壞大多數(shù)分子鍵示範。用真空紫外線照射材料表面，具有普通濕式清洗無(wú)法達(dá)到的去除有機(jī)物的效果有很大提升空間。污染的有機(jī)物引起下式所示的反應(yīng)運行好，通過(guò)氧化和揮發(fā)有效地去除有機(jī)薄膜上的有機(jī)物首次。