半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)化是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵環(huán)節(jié)緊密協作,近年來在高純硅片和光刻膠領(lǐng)域取得了顯著的突破進(jìn)展。
一線上線下、高純硅片
(一)技術(shù)突破
提純技術(shù)的提升
背景:高純硅片是半導(dǎo)體制造的基礎(chǔ)材料發揮重要作用,其純度直接影響芯片的性能。傳統(tǒng)的硅提純方法存在雜質(zhì)難以完的全去除的問題數據顯示。
進(jìn)展:國內(nèi)企業(yè)通過改進(jìn)多晶硅提純工藝高質量,采用先進(jìn)的化學(xué)氣相沉積(CVD)和區(qū)域熔煉技術(shù),能夠?qū)⒐璧募兌忍岣叩?9.9999999%(即“9N"純度)以上記得牢。例如註入了新的力量,保利協(xié)鑫等企業(yè)在硅料提純方面已經(jīng)達(dá)到了國的際的先的進(jìn)水平,能夠滿足高的端芯片制造的需求服務好。
大尺寸硅片研發(fā)
背景:隨著芯片制造工藝的進(jìn)步新趨勢,對硅片尺寸的要求越來越高。大尺寸硅片可以提高生產(chǎn)效率共謀發展,降低成本學習。
進(jìn)展:國內(nèi)企業(yè)如中環(huán)股份、滬硅產(chǎn)業(yè)等在大尺寸硅片(如12英寸)的研發(fā)和生產(chǎn)上取得了突破聽得懂。中環(huán)股份已經(jīng)實現(xiàn)了12英寸硅片的量產(chǎn)新的力量,并且在質(zhì)量上與國際產(chǎn)品相當(dāng)。滬硅產(chǎn)業(yè)也在積極推進(jìn)12英寸硅片的產(chǎn)能擴(kuò)張便利性,預(yù)計未來幾年將大幅提高國內(nèi)大尺寸硅片的自給率。
(二)市場影響
降低進(jìn)口依賴
現(xiàn)狀:過去重要平臺,國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)對進(jìn)口硅片的依賴度較高深刻認識,尤其是高的端硅片。隨著國產(chǎn)高純硅片的崛起應用提升,進(jìn)口依賴逐漸降低主動性。目前,國內(nèi)硅片的自給率已經(jīng)從過去的不到10%提升到30%左右發展的關鍵。
意義:這不僅降低了成本道路,還減少了因國際供應(yīng)波動帶來的風(fēng)險規模設備,增強(qiáng)了國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的供應(yīng)鏈穩(wěn)定性。
推動產(chǎn)業(yè)升級
二、光刻膠
(一)技術(shù)突破
高的端光刻膠的研發(fā)
背景:光刻膠是半導(dǎo)體制造中用于光刻工藝的關(guān)鍵材料調整推進,其質(zhì)量直接影響芯片的精度和良品率狀況。高的端光刻膠(如EUV光刻膠)技術(shù)長期被國外壟斷。
進(jìn)展:國內(nèi)企業(yè)如上海新陽機製、晶瑞電材等在高的端光刻膠研發(fā)方面取得了突破全過程。上海新陽已經(jīng)成功研發(fā)出KrF(248納米)光刻膠,并實現(xiàn)了小批量生產(chǎn)探討。晶瑞電材也在積極推進(jìn)EUV光刻膠的研發(fā)不負眾望,目前已經(jīng)取得了一些階段性成果。
原材料國產(chǎn)化
(二)市場影響
打破國際壟斷
助力半導(dǎo)體制造
三、未來展望
持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新
產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同
背景:半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)化需要產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同合作。
措施:國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)責任、材料供應(yīng)商和科研機(jī)構(gòu)將進(jìn)一步加強(qiáng)合作應用情況,形成產(chǎn)學(xué)研用的協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制,共同推動半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)化進(jìn)程深入各系統。
政策支持
現(xiàn)狀:國家已經(jīng)出臺了一系列政策支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展解決問題,包括對半導(dǎo)體材料研發(fā)和生產(chǎn)的補(bǔ)貼。
展望:未來作用,政策將繼續(xù)向半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化傾斜相互配合,通過稅收優(yōu)惠、財政補(bǔ)貼著力增加、專項基金等方式關鍵技術,鼓勵企業(yè)加大研發(fā)投入,提高國產(chǎn)半導(dǎo)體材料的市場競爭力深入。
總之技術研究,高純硅片和光刻膠的國產(chǎn)化突破是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵一步。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)鏈的不斷完善開展研究,國產(chǎn)半導(dǎo)體材料將在未來發(fā)揮更重要的作用姿勢,為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起提供堅實的基礎(chǔ)。