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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號:WS-650-8B
更新時間:2024-09-02簡要描述:美國Laurell ø200mm旋涂機WS-650-8B Laurell WS- 650-8 B 旋涂機 結(jié)構(gòu)緊湊高質量發展,功能先進攜手共進。 這款 650 系列涂布機系統(tǒng)可容納直徑達(dá)ø 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板資料,最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于直徑ø 100 毫米的硅晶圓)。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
美國Laurell ?200mm旋涂機WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂機 結(jié)構(gòu)緊湊技術研究,功能先進重要的。 這款 650 系列涂布機系統(tǒng)可容納直徑達(dá)? 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板,最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于直徑? 100 毫米的硅晶圓)姿勢。
Laurell 獨的特的內(nèi)部碗狀設(shè)計消除了濺回現(xiàn)象相互融合,因此無需安裝“濺水環(huán)"。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲水箱綠色化,既實用又方便不同需求。
封閉式碗狀設(shè)計,加上過程控制器的精確性保持穩定,可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥總之,從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉,以提供重疊密封工藝技術,蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝效率,用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部,以防止化學(xué)品意外滴落到基材上近年來。
美國Laurell ?200mm旋涂機WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂機 結(jié)構(gòu)緊湊,功能先進發展目標奮鬥。 這款 650 系列涂布機系統(tǒng)可容納直徑達(dá)? 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板技術先進,最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM(基于直徑? 100 毫米的硅晶圓)。
Laurell 獨的特的內(nèi)部碗狀設(shè)計消除了濺回現(xiàn)象延伸,因此無需安裝“濺水環(huán)"認為。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲水箱,既實用又方便新趨勢。
封閉式碗狀設(shè)計反應能力,加上過程控制器的精確性,可使大多數(shù)涂層材料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥學習,從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染結構重塑。上部集氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉,以提供重疊密封應用優勢,蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝大大縮短,用于將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)后部,以防止化學(xué)品意外滴落到基材上緊密相關。
