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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號(hào)：FlexPro/Micro-Z
更新時(shí)間：2024-07-10簡(jiǎn)要描述：koenn伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器 FlexPro/Micro-Z Nanomotion Inc. 的超聲波馬達(dá)可以顯著移動(dòng)載物臺(tái)并以納米精度定位倍增效應。用于半導(dǎo)體設(shè)備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動(dòng)。這種超聲波馬達(dá)將稱為元件的突起壓在載物臺(tái)上并高速振動(dòng)以移動(dòng)載物臺(tái)製造業。請(qǐng)?jiān)囉门c一般電動(dòng)機(jī)不同的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的執(zhí)行器優化服務策略。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
koenn伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器 FlexPro/Micro-Z
koenn伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器 FlexPro/Micro-Z
Nanomotion Inc. 的超聲波馬達(dá)可以顯著移動(dòng)載物臺(tái)并以納米精度定位。
用于半導(dǎo)體設(shè)備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動(dòng)發展基礎。
這種超聲波馬達(dá)將稱為元件的突起壓在載物臺(tái)上并高速振動(dòng)以移動(dòng)載物臺(tái)兩個角度入手。請(qǐng)?jiān)囉门c一般電動(dòng)機(jī)不同的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的執(zhí)行器。も內(nèi)蔵しています同期。位置制御生產效率、荷重制御、圧力制御に適しており效果、入力段は創新延展、3 入力（ SIG強化意識、FB1、FB2 ）加算型となっています基本情況。特に FB2 は指令信號(hào)とフィードバック信號(hào)が同極性の場(chǎng)合に対応する為に現場、インバータ回路が內(nèi)臓されていす。入力信號(hào)は電圧（±10V）と電流（4-20mA）に対応しています力量。出力段は探討、定格電流が±100mA までのノズルフラッパ型サーボ弁を直接駆動(dòng)する電流出力となっています。又高效流通、電圧入力（±10V）型サーボ弁（直動(dòng)弁調解製度、三段型サーボ弁）駆動(dòng)用に電圧出力にも対応しています。
| 電源 | DC24V±10%電流0.3A | |
| 輸入信號(hào) SIG功能、FB1應用的因素之一、FB2 共用 | ±10V 電壓輸入阻抗 100kΩ 4 至 20mA 電流輸入阻抗 249Ω | |
| 輸出額定值 | ±100mA以下可通過(guò)內(nèi)部DIP開(kāi)關(guān)選擇 或±10V 電流可從5、10預期、15敢於監督、20、30結構、40重要的作用、50、60規模最大、70穩中求進、80、90最深厚的底氣、100mA中選擇 | |
| 環(huán)境溫度協同控製、濕度 | 0 至 +50°C，90% RH 或更低 | 無(wú)結(jié)露 |
| 抖動(dòng)信號(hào) 頻率調(diào)整范圍 Level調(diào)整范圍 | 200Hz正弦波 調(diào)節(jié)范圍在額定輸出電流的20%pp以內(nèi) | |
| 外形尺寸 | 42W x 184H x 102D（毫米） | 不包括連接器的突起 |
| 大量的 | 0.65公斤 |
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