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產品型號:CS-620F
更新時間:2024-08-28簡要描述:日本horiba光纖型高溫磷酸濃度計 CS-620F在 3D NAND 制程中,沉積幾十層二氧化硅和氮化硅擴大,并使用高溫磷酸選擇性地刻蝕氮化硅層多樣性。在該制程中,通過控制化學藥液的濃度和溫度新格局,可以獲得期望的刻蝕速率明顯。成熟型號很難測量高溫化學藥液,但 CS-620F 能夠在高達 170℃ 的高溫下進行測量顯示。使用吸收光譜進行連續(xù)測量創新為先,與其他方法相比,需要的維護和耗材更少科普活動。
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
日本horiba光纖型高溫磷酸濃度計 CS-620F
在 3D NAND 制程中創新延展,沉積幾十層二氧化硅和氮化硅,并使用高溫磷酸選擇性地刻蝕氮化硅層長期間。在該制程中基本情況,通過控制化學藥液的濃度和溫度,可以獲得期望的刻蝕速率高端化。成熟型號很難測量高溫化學藥液力量,但 CS-620F 能夠在高達 170℃ 的高溫下進行測量。使用吸收光譜進行連續(xù)測量不負眾望,與其他方法相比高效流通,需要的維護和耗材更少。
主要特征:
可測量高達 92% 的高濃度磷酸
無需冷卻機制和冷卻時間精準調控。
無需冷卻循環(huán)管路中的高溫磷酸(140 至 170℃)功能,可直接測量。
樣品使用PFA接觸解決,以降低污染風險預期。
采用每半年一次的背景校正周期,有助于顯著減少機臺停機時間集成技術。
每3秒更新一次測量數據就能壓製,有助于更快速使用濃度反饋進行控制
日本horiba光纖型高溫磷酸濃度計 CS-620F
在 3D NAND 制程中更合理,沉積幾十層二氧化硅和氮化硅適應能力,并使用高溫磷酸選擇性地刻蝕氮化硅層。在該制程中各方面,通過控制化學藥液的濃度和溫度防控,可以獲得期望的刻蝕速率。成熟型號很難測量高溫化學藥液適應性,但 CS-620F 能夠在高達 170℃ 的高溫下進行測量堅實基礎。使用吸收光譜進行連續(xù)測量稍有不慎,與其他方法相比,需要的維護和耗材更少等地。
主要特征:
可測量高達 92% 的高濃度磷酸
無需冷卻機制和冷卻時間最為顯著。
無需冷卻循環(huán)管路中的高溫磷酸(140 至 170℃),可直接測量規定。
樣品使用PFA接觸環境,以降低污染風險。
采用每半年一次的背景校正周期高質量,有助于顯著減少機臺停機時間相對簡便。
每3秒更新一次測量數據,有助于更快速使用濃度反饋進行控制
