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日本yako-sangyo 半導體氣體擴散器

  • 產品型號:SUS316L
  • 更新時間:2024-08-30

簡要描述:日本yako-sangyo 半導體氣體擴散器SUS316L
氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染稍有不慎、縮短排氣循環(huán)時間數字技術、提高系統(tǒng)吞吐量的擴散器行業內卷。
?元件部分SUS316L
?也可用于高溫應用拓展基地。
?尺寸緊湊意見征詢,可靠性高提升,可承受沖擊和振動。

產品詳情
品牌其他品牌價格區(qū)間1-1萬
應用領域綜合

日本yako-sangyo  半導體氣體擴散器SUS316L

氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染的必然要求、縮短排氣循環(huán)時間研究成果、提高系統(tǒng)吞吐量的擴散器。

 ?元件部分SUS316L

 ?也可用于高溫應用完善好。

 ?尺寸緊湊大面積,可靠性高,可承受沖擊和振動問題分析。

氣體擴散器概述

1.流量范圍廣培養,從 6 到 300 SLPM。

2.與高純度半導體氣體兼容更加完善。

3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動效率形式,同時最大限度地減少壓降。

4.5Ra 電解拋光表面可防止內部污染資源配置。

5.為了滿足半導體工藝標準信息,我們在用去離子水清洗后用高溫氮氣進行烘烤。

日本yako-sangyo  半導體氣體擴散器SUS316L

氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染大力發展、縮短排氣循環(huán)時間豐富內涵、提高系統(tǒng)吞吐量的擴散器生產效率。

 ?元件部分SUS316L

 ?也可用于高溫應用。

 ?尺寸緊湊適應性,可靠性高節點,可承受沖擊和振動。

氣體擴散器概述

1.流量范圍廣落地生根,從 6 到 300 SLPM的特點。

2.與高純度半導體氣體兼容。

3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動效率有效保障,同時最大限度地減少壓降大數據。

4.5Ra 電解拋光表面可防止內部污染。

5.為了滿足半導體工藝標準講實踐,我們在用去離子水清洗后用高溫氮氣進行烘烤空間廣闊。

日本yako-sangyo  半導體氣體擴散器


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