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日本samco紫外線臭氧清洗機

  • 產(chǎn)品型號:UV-1
  • 更新時間:2024-09-04

簡要描述:日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1
概述:
該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理稍有不慎【€上線下?梢赃M行有機物去除和表面改性空間載體,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗責任製。配備紫外線燈十分落實、臭氧發(fā)生器和加熱臺,紫外線照射規則製定、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現(xiàn)高效的清潔和表面改性製造業,而不會對基材造成電氣損壞。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
應用領域綜合

日本samco紫外線臭氧清洗機  UV-1

概述:

該裝置是一種UV臭氧清洗機關規定,可以對各種半導體工藝進行干燥處理發展基礎。可以進行有機物去除和表面改性建強保護,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗同期。配備紫外線燈、臭氧發(fā)生器和加熱臺使命責任,紫外線照射效果、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現(xiàn)高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞合規意識。

特征:

-由于同時使用紫外線 (UV)密度增加、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量,因此可以實現(xiàn)高效清潔創新內容。

-離子或電子不會對元件造成損壞機遇與挑戰。

-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設備服務延伸。

-由于大氣壓處理共創輝煌,不需要真空系統(tǒng)。

日本samco紫外線臭氧清洗機  UV-1

概述:

該裝置是一種UV臭氧清洗機進一步,可以對各種半導體工藝進行干燥處理大部分。可以進行有機物去除和表面改性應用的因素之一,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗解決。配備紫外線燈、臭氧發(fā)生器和加熱臺敢於監督,紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現(xiàn)高效的清潔和表面改性結構,而不會對基材造成電氣損壞重要的作用。

特征:

-由于同時使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量規模最大,因此可以實現(xiàn)高效清潔穩中求進。

-離子或電子不會對元件造成損壞統籌。

-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設備協同控製。

-由于大氣壓處理振奮起來,不需要真空系統(tǒng)。


日本samco紫外線臭氧清洗機


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