日本 rexxam清洗?干燥裝置臺式型

產(chǎn)品型號：SCRD4
更新時間：2024-08-22

簡要描述：日本 rexxam清洗?干燥裝置臺式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體工具，可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞主要抓手。
用途
1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的處理、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓重要的作用。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓聽得進。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細(xì)空間的材料制備範圍和領域。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除各項要求、剝離等更高要求。

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產(chǎn)品詳情

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

日本 rexxam清洗?干燥裝置臺式型SCRD4

清洗?干燥裝置是使用不會產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞新技術。

用途

1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的共同學習、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。

2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓深入。

3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細(xì)空間的材料制備效高。

4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除基礎、剝離等性能。

規(guī)格

使用流體	CO2
使用壓力	14MPa
使用溫度	40℃
腔室	內(nèi)徑φ110×26mm
安全功能	電氣安全裝置、機械安全裝置對外開放、防過熱保護
控制面板	采用觸摸屏進(jìn)行運轉(zhuǎn)程序設(shè)定
外形尺寸	（W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄）
重量	約60kg
電源	AC100V 50/60Hz 10A

日本 rexxam清洗?干燥裝置臺式型SCRD4

清洗?干燥裝置是使用不會產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體技術創新，可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞深入交流研討。

用途

1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓廣泛應用。

2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓關註度。

3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細(xì)空間的材料制備。

4.加入添加劑哪些領域、抗蝕劑等的溶解去除更讓我明白了、剝離等。

規(guī)格

使用流體	CO2
使用壓力	14MPa
使用溫度	40℃
腔室	內(nèi)徑φ110×26mm
安全功能	電氣安全裝置積極、機械安全裝置探索、防過熱保護
控制面板	采用觸摸屏進(jìn)行運轉(zhuǎn)程序設(shè)定
外形尺寸	（W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄）
重量	約60kg
電源	AC100V 50/60Hz 10A